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예스티는 HPSP의 고압 어닐링 장비 잠금장치 관련 특허심판에서 승소했다고 28일 밝혔다. 특허심판원은 지난 25일 예스티가 청구한 2건의 소극적권리범위확인심판에 대해 인용했다. 소극적권리확인심판이란 청구인이 자신의 특허 사용이 등록 특허의 권리 범위에 속하지 않는다는 사실을 확인 받기 위해 요청하는 것이다. 이번 소에서 특허심판원은 예스티의 고압수소어닐링 잠금장치 구조가 HPSP의 특허와는 다르다고 판단했다. 고압수소어닐링은 반도체의 실리콘 산화물(SiO) 표면 결함을 고압 수소·중수소로 치환하는 장비로 HPSP가 독점하고 ...
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